79. 현재 널리 사용되고 있는 유도결합 플라스마의 고주파 전원으로 알맞은 것은?
- 1라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 1 kW 출력
- 2라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 5 kW 출력
- 3라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 100 kW 출력
- 4라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 1000 kW 출력
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